میکروست (Microst) به طور کلی به سیستم ها و دستگاه هایی اشاره دارد که برای اندازه گیری و نظارت بر پارامترهای میکرو مقیاس، به ویژه در زمینه های صنعتی و آزمایشگاهی طراحی شدهاند. اجزاء و قطعات این دستگاه ها معمولاً شامل فناوری های پیشرفته و قطعات میکرو الکترو مکانیکی هستند. در این جا به بررسی…